DENSOKU EX-851熒光X射線膜厚儀：多行業(yè)高質(zhì)量檢測的解決方案

發(fā)布日期：2025-09-13      瀏覽次數(shù)：13

在工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中，對材料表面鍍層或薄膜厚度的精確測量是確保產(chǎn)品質(zhì)量和性能的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。日本電測（NIPPON DENSHOKU）的熒光X射線膜厚儀EX-851以其先進(jìn)的技術(shù)和性能，為多個行業(yè)提供了高效、精準(zhǔn)的測量解決方案。

01 多行業(yè)應(yīng)用的廣泛適應(yīng)性

DENSOKU EX-851熒光X射線膜厚儀的技術(shù)特性使其能夠適應(yīng)多種行業(yè)和場景的測量需求。

電子與半導(dǎo)體制造是該設(shè)備的核心應(yīng)用領(lǐng)域之一。在半導(dǎo)體制造過程中，EX-851可用于檢測晶圓的表面質(zhì)量、光刻膠的厚度等，確保半導(dǎo)體器件的制造精度。 它還能測量電子元件的外觀和性能，如電容、電阻等元件的外觀缺陷。

汽車工業(yè)同樣受益于這款儀器。它能夠使用光學(xué)測量設(shè)備檢測汽車零部件的表面質(zhì)量、材料性能等，確保零部件符合設(shè)計(jì)要求。

在金屬加工與電鍍行業(yè)，EX-851表現(xiàn)出色。它可以進(jìn)行單層鍍層測量、兩層鍍層測量、三層鍍層測量、合金膜厚成分比同時測量以及化學(xué)鍍鎳測量。 特別是對于鉻（Cr）、鎳（Ni）等元素的測量，其重復(fù)精度顯著提高2。

食品與藥品檢測是另一個重要應(yīng)用領(lǐng)域。通過光譜分析技術(shù)檢測食品和藥品的成分，確保其符合質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，如檢測食品中的添加劑、農(nóng)藥殘留、營養(yǎng)成分等。

環(huán)境監(jiān)測領(lǐng)域也可使用這款儀器。通過光學(xué)傳感器監(jiān)測大氣中的污染物，如二氧化硫、氮氧化物等，為環(huán)境治理提供數(shù)據(jù)支持。

研究與開發(fā)領(lǐng)域是EX-851的另一個用武之地。科研機(jī)構(gòu)利用其高精度測量能力進(jìn)行材料科學(xué)研究，分析材料的成分、結(jié)構(gòu)和光學(xué)性質(zhì)。

02 技術(shù)特性與產(chǎn)品優(yōu)勢

DENSOKU EX-851熒光X射線膜厚儀集成了多項(xiàng)先進(jìn)技術(shù)，提供了出色的測量性能和用戶體驗(yàn)。

自動對焦功能是EX-851的一大亮點(diǎn)。只需將測量單元對準(zhǔn)激光指示器的位置并關(guān)上門，儀器便會自動移動至測量值并執(zhí)行測量。測量完成后，打開門，載物臺會自動返回原位，大大簡化了操作流程。

雙重過濾器系統(tǒng)確保了測量精度。通過使用除數(shù)值濾波器以外的機(jī)械濾波器（雙重濾波器），儀器能夠在最佳條件下進(jìn)行測量，始終獲得高的精度。

靈活的準(zhǔn)直儀配置滿足了不同測量需求。儀器內(nèi)置5種準(zhǔn)直儀，最小準(zhǔn)直儀為0.1φmm，可以測量極小的零件。標(biāo)準(zhǔn)配置包括0.1、0.2、0.5、1.0、2.0φmm準(zhǔn)直儀，還有兩種特殊規(guī)格可選。

強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理和報(bào)告功能提高了工作效率。通過采用MS-Windows軟件，用戶可以輕松捕獲測量屏幕，增強(qiáng)了報(bào)告創(chuàng)建功能。多任務(wù)功能允許即使在測量過程中也能進(jìn)行包括報(bào)告創(chuàng)建在內(nèi)的其他處理。

先進(jìn)的自診斷和維護(hù)功能確保了設(shè)備長期穩(wěn)定運(yùn)行。自診斷功能可以迅速識別和解決設(shè)備故障，還有顯示X射線管使用時間和使用壽命的功能，以支持維護(hù)安全。

選配Be窗口X射線管進(jìn)一步提升了性能。對于鉻（Cr）和鎳（Ni）的測量，重復(fù)測量精度顯著提高：Cr的重復(fù)性提高了約3倍，Ni的重復(fù)性提高了約2倍。測量兩層結(jié)構(gòu)時，中間層中Ni的測量精度提高了約20%。

快速測量和分析能力節(jié)省了寶貴時間。多通道光譜分析高速處理使顯示被測物的光譜變得容易，處理速度僅約2-3秒。

直觀的結(jié)果展示方式便于數(shù)據(jù)分析。三維圖形顯示可輕松查看測量對象的鍍層厚度分布，提供了更直觀的數(shù)據(jù)展示方式。

03 符合工業(yè)環(huán)境要求的設(shè)計(jì)

DENSOKU EX-851不僅測量性能出色，其硬件設(shè)計(jì)也充分考慮了工業(yè)環(huán)境的需求。

儀器測量臺尺寸為200 x 200 mm，運(yùn)動量為X軸200mm、Y軸200mm、Z軸90mm，能夠測量高度最大90mm的樣品。 整體尺寸為740（W）x 530（D）x 660（H）mm（不包括突起部分），重量約為85kg。

安全性能方面，EX-851配備了X射線電源鑰匙開關(guān)和故障安全功能，確保了操作過程中的安全性。

EX-851融合了高精度測量與高效工作流程，無論是半導(dǎo)體芯片上的超薄涂層還是汽車零部件上的厚鍍層，它都能提供準(zhǔn)確可靠的數(shù)據(jù)支持。

隨著工業(yè)技術(shù)不斷發(fā)展，對測量精度和效率的要求將越來越高，DENSOKU EX-851這樣的高性能測量儀器將在質(zhì)量控制和工藝優(yōu)化中發(fā)揮更加關(guān)鍵的作用。