日本東麗toray半導(dǎo)體/液晶/電子元器件等用氧氣分析儀

發(fā)布日期：2020-12-21      瀏覽次數(shù)：1654

日本東麗toray半導(dǎo)體/液晶/電子元器件等用氧氣分析儀



日本東麗氧化鋯式氧氣濃度計(jì)的測量原理

兩側(cè)帶有電極的氧化鋯陶瓷具有在高溫下使一個電極上的氧分子電離并在另一電極上使氧離子返回到氧分子的特性。該特性稱為離子傳導(dǎo)，并且隨著氧化鋯陶瓷的兩側(cè)的氧濃度差的增加，離子傳導(dǎo)的程度增加。在此期間，電子在兩個電極之間傳輸，并且可以提取離子傳導(dǎo)程度（=氧化鋯陶瓷兩側(cè)的氧濃度差）作為兩個電極之間的電動勢大小。如下圖所示，該電動勢可以根據(jù)Nernst的理論公式獲得穩(wěn)定值，因此Toray氧化鋯傳感器可以顯示穩(wěn)定可靠的氧氣濃度值。

使用氧化鋯血氧儀的一般注意事項(xiàng)

氧化鋯氧氣計(jì)在約700°C的高溫下運(yùn)行。因此，在以下情況下可能無法測量，并且傳感器的壽命可能會受到影響。

• 由于它在氧氣計(jì)的內(nèi)部有一個電爐，因此不能在防爆區(qū)域使用。
• 如果可燃?xì)怏w（例如氫氣，甲烷，酒精，一氧化碳等）進(jìn)入氧氣表，則會引起燃燒反應(yīng)并引起測量誤差。
• 有機(jī)二氧化硅（用作密封材料等）會導(dǎo)致傳感器性能下降。（這是傳感器變質(zhì)的z常見原因之一。
• 鹵素（尤其是氯）會導(dǎo)致傳感器故障。
• 間歇性污染高熱量卡路里的物質(zhì)（例如一氧化碳）會導(dǎo)致熱歷史并導(dǎo)致傳感器故障。
• 如果混入大量腐蝕性氣體（例如Nox和Sox），則會發(fā)生傳感器故障。
• 氟利昂氣體可能導(dǎo)致高溫下的分離反應(yīng)并導(dǎo)致傳感器性能下降。
• 水滴，灰塵和薄霧可能會損壞傳感器，縮短其壽命并引起錯誤。測量包含這些氣體的氣體時，請先將其除去，然后讓其流過氧氣濃度計(jì)。購買前，請與我們聯(lián)xi以獲取清除方法。

MS-500，LC-450A，LC-450D，LC-860

氧氣表MS-500

• z多可以同時測量8個點(diǎn)
• 可以顯示從ppm級到100的多種濃度。
• 非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備，真空設(shè)備等上。
• 傳感器是直接插入型（用于真空16/25/40的NW法蘭）
• 特殊涂層應(yīng)用于高度耐用的傳感器，以進(jìn)一步提高耐用性。

氧氣計(jì)LC-450A，LC-450D

• 
  可以顯示很寬的濃度范圍，從測量到的濃度范圍內(nèi)的ppm水平到100。
• 改進(jìn)的傳感器耐用性
  氧氣傳感器經(jīng)過特殊處理，以提高其耐用性。
• 交流寬電源AC100-240VAC（LC-450A）
  * LC-450D由24V DC驅(qū)動
• 緊湊且易于安裝
  深度比我們的傳統(tǒng)型號還要短，并且不會占用太多空間。
• 符合RoHS的產(chǎn)品
• CE標(biāo)志自我聲明產(chǎn)品
  EN61010-1：2002，EN61326：+ A3：2003

氧氣計(jì)LC-860

• 低濃度測量
  可以測量ppb到100
• 操作簡便
  按功能可輕松操作
• 吹掃功能
  比較氣體更穩(wěn)定，測量更精que（僅適用于具有吹掃功能的規(guī)格）
• 高可靠性傳感器傳感器
  內(nèi)部還可以進(jìn)行防劣化處理（可選）