日本okk全自動紫外線照射器FBUV系列技術(shù)

發(fā)布日期：2021-04-07      瀏覽次數(shù)：1587

日本okk全自動紫外線照射器FBUV系列技術(shù)



通過一鍵式設(shè)置變更轉(zhuǎn)盤，即使是不同尺寸的工作也能均勻照射！

概述
黑光規(guī)格的全自動紫外線照射器是
一種自動取出暗盒提供的晶片框架，用紫外線照射并存儲它的設(shè)備。切塊后，施加紫外線使其更容易拾取，從而降低了膠帶的粘合強度。
通過自動更改設(shè)置支持8英寸和12英寸晶圓框架。
特征

每個暗盒都可以全自動照射。

旋轉(zhuǎn)式轉(zhuǎn)盤可實現(xiàn)均勻且均勻的紫外線照射。

各種紫外線照射條件（時間設(shè)置或集成的光強度設(shè)置）

紫外線照度實時顯示在觸摸屏上。

由于采用了黑光規(guī)格，因此功耗低。

兼容8英寸/ 12英寸錄xiang帶。（可以通過觸摸面板自動更改設(shè)置）

 

規(guī)格

尺寸	寬770 x深1090 x高1200（毫米）
重量	約250公斤
驅(qū)動空氣	0.4-0.5Mpa 65L /分鐘
紫外線照度	9mW /cm²或更高
N 2	0.4-0.5Mpa 100L /分鐘
電源	AC100V 50 / 60Hz 30A