日本OKK紫外線照射器概述

發(fā)布日期：2021-06-15      瀏覽次數(shù)：1656

日本OKK紫外線照射器概述

紫外線照射器是一種用紫外線照射和固化紫外線固化膠帶/薄膜的設(shè)備。在半導(dǎo)體芯片制造工序中研磨或切割工件的背面研磨和切割等工序中，剝離保護帶時用作固化應(yīng)用。

有兩種模式，一種是照射任意積分光量*¹的積分照射模式，另一種是照射任意時間的照射時間模式，可以在設(shè)定的條件下照射UV。

LED規(guī)格和全自動型在我們的高壓水銀規(guī)格-手動型黑光規(guī)格中的黑光規(guī)格準備，我們必須按照開發(fā)和生產(chǎn)計劃排列各種紫外線照射設(shè)備。

近年來，我們擁有配備LED光源UV-LED的全自動設(shè)備陣容，我們正在努力降低運行成本，并考慮到環(huán)境資源來設(shè)計設(shè)備。

紫外線照射器

• 手動
  
  黑光規(guī)格

  UVI-MA-系列

  它是一種臺式紫外線照射裝置，可固化紫外線固化膠帶膠水、粘合劑等。

  

  對應(yīng)工作尺寸	6寸/8寸/12寸
  對應(yīng)幀	6inch 切割框 x 2  8inch 切割框 x 1 12inch 切割框 x 1 (*不能照射整個12inch)
  設(shè)備外形尺寸	W520 x D550 x H200 (mm)
  設(shè)備重量	約30公斤
  類型	說明書（黑光規(guī)格）

• 全自動
  
  高壓水銀規(guī)格

  FHUV-系列

  它是一種使用具有強輻射能量的燈的紫外線固化裝置。

  

  對應(yīng)工作尺寸	6、8寸切塊架
  設(shè)備外形尺寸	8英寸型：W1300 x D1100 x H1650（毫米）
  設(shè)備重量	8inch型：約550kg
  類型	全自動（高壓水銀規(guī)格）

   
• 全自動
  
  黑光規(guī)格

  FBUV-系列

  它是一種自動取出盒提供的晶圓框架，用紫外線照射它并存儲它的設(shè)備。

  

  對應(yīng)工作尺寸	6、8 英寸或 8、12 英寸
  設(shè)備外形尺寸	8 英寸類型：W 660 x D1030 x H1160（毫米） 12 英寸類型：W1050 x D1100 x H1200（毫米）
  設(shè)備重量	8 英寸型：約 200 公斤 12 英寸型：約 200 公斤
  類型	全自動（黑光規(guī)格）