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          低壓力損失金屬氣體過濾器

          訪問次數(shù):1465

          更新日期:2025-05-02

          簡(jiǎn)要描述:

          日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列
          過濾器材料全部采用SUS316L,不用擔(dān)心腐蝕和中間產(chǎn)物,同時(shí)具備較高的耐熱性能。

          低壓力損失金屬氣體過濾器
          用途過濾雜質(zhì)

          日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列

           

          • 過濾器材料全部采用SUS316L,不用擔(dān)心腐蝕和中間產(chǎn)物,同時(shí)具備較高的耐熱性能。
          • 使用氮?dú)猓∟2)輸入,當(dāng)過濾器輸入側(cè)壓力為0.2MPa、流量為90SLM時(shí),輸出側(cè)壓力損失△為0.05MPa。
          • 固定或脈動(dòng)方式下過濾精度經(jīng)CNC確認(rèn)達(dá)到0.003μm,實(shí)現(xiàn)了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。

          日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列

          規(guī)格

           

          過濾精度0.003μm
          推薦流量10~100?/min(各型號(hào)區(qū)別:參考流量特性曲線)
          高使用壓力0.98MPa(142PSIG) at20℃
          容許差壓0.7MPa(101.5PSIG) at20℃
          高使用溫度460℃
          外部泄漏量2×10-11Pa?m3/sec以下
          構(gòu)成材料外罩:SUS316L(電解研磨處理)元素:SUS316L 內(nèi)表面粗糙度:Rmax0.7μm以下
          連接零件1/4"Gasket seal、其它

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