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日本advance riko風冷桌面型快速退火爐

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更新日期:2025-05-02

簡要描述:

日本advance riko風冷桌面型快速退火爐MILA-700AR
晶圓,復合晶圓的快速加熱
光化學氣相沉積襯底加熱

日本advance riko風冷桌面型快速退火爐
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日本advance riko風冷桌面型快速退火爐MILA-700AR

日本advance riko風冷桌面型快速退火爐

用途

  • 晶圓,復合晶圓的快速加熱

  • 光化學氣相沉積襯底加熱

  • 熱循環(huán)測試

  • 涂膜的耐熱性評估

  • 有機材料和樹脂的加熱和干燥

特長

  • 50°C / s快加熱

  • 可在真空,惰性氣體,流動氣氛,空氣的氣氛下進行加熱

  • 精確的溫度控制

  • 緊湊的臺式設計

仕様

控溫范圍RT ~ 700 °C
樣品尺寸□ 或φ20mm x 2mm (T)
加熱氣氛真空,靜態(tài)氣氛,流動氣氛,空氣


日本advance riko風冷桌面型快速退火爐MILA-700AR

用途

  • 晶圓,復合晶圓的快速加熱

  • 光化學氣相沉積襯底加熱

  • 熱循環(huán)測試

  • 涂膜的耐熱性評估

  • 有機材料和樹脂的加熱和干燥

特長

  • 50°C / s快加熱

  • 可在真空,惰性氣體,流動氣氛,空氣的氣氛下進行加熱

  • 精確的溫度控制

  • 緊湊的臺式設計

仕様

控溫范圍RT ~ 700 °C
樣品尺寸□ 或φ20mm x 2mm (T)
加熱氣氛真空,靜態(tài)氣氛,流動氣氛,空氣


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