excimer等離子設備臭氧分解裝置OZFDT型 

特征

• 分解桌面紫外線照射設備產(chǎn)生的臭氧廢氣。

• 即使在沒有局部排氣設備的環(huán)境中也能對臭氧進行解毒。

• 非金屬催化劑分解高濃度臭氧氣體

• 廢氣濃度 0.1ppm 以下

• 長壽命設計催化劑壽命 1 年

臭氧用于殺菌、除臭、清洗、重整等時，臭氧氣體難以排出。如果直接用完，管道和風扇會腐蝕，很危險。如果排到外面，它會擴散，但不安全，因為排氣口附近的臭氧氣體濃度很高。在工廠，酸廢氣用抽氣機或洗滌器處理，但在工廠外，通常用臭氧過濾器排除。
傳統(tǒng)的臭氧過濾器分解器需要大容量、成本高且占用空間大，才能在短時間內(nèi)處理高濃度臭氧氣體。為了配合小型臭氧利用裝置使用臭氧過濾器，通常在裝置內(nèi)部放置臭氧過濾器，循環(huán)直至臭氧氣體被稀釋。

我們在半導體制造設備等方面積累了豐富的技術和經(jīng)驗，盡管臭氧過濾器尺寸小，但由于其高性能，因此無需在設備中循環(huán)臭氧氣體即可一次性排出的廢氣濃度為0.1 ppm或更少。我們已經(jīng)實現(xiàn)并銷售了帶有內(nèi)置排氣扇的臭氧分解裝置。這種方法的優(yōu)點是不需要循環(huán)處理，縮短了整個設備的處理時間。此外，由于臭氧分解過濾器在設備外部，因此不存在臭氧過濾器中使用的活性炭和重金屬催化劑等成分導致設備內(nèi)部再污染的結構可能性。單程臭氧消減裝置是一種超潔凈設計理念。

excimer等離子設備臭氧分解裝置OZFDT型 

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