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        1. 產(chǎn)品展示
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          日本napson晶圓平整度測量厚度檢測FLA-200 測厚儀

          訪問次數(shù):3600

          更新日期:2025-05-02

          簡要描述:

          日本napson晶圓平整度測量厚度檢測FLA-200
          非接觸式平面度/厚度測量系統(tǒng)。測量晶片樣品的平整度(TTV,BOW,WARP)和厚度。

          日本napson晶圓平整度測量厚度檢測FLA-200 測厚儀
          類型數(shù)字式測量范圍1

          日本napson晶圓平整度測量厚度檢測FLA-200

          產(chǎn)品特點

          非接觸式平面度/厚度測量系統(tǒng)。測量晶片樣品的平整度(TTV,BOW,WARP)和厚度。

          • -支持測量厚度,TTV,BOW,翹曲,場地平面度和整體平面度(符合ASTM)
          • ?支持2-D和3-D映射顯示的軟件
          • ?數(shù)據(jù)可以輸出為CSV文件
          • ?使用5mmφ芯線電容式探頭進行高精度測量
          • ? 60秒內(nèi)進行12,000點掃描/高速測量

          測量規(guī)格

          測量目標

          ?半導體/太陽能電池材料相關(硅,多晶硅,SiC等)
          ?硅基外延,離子注入樣品
          ?化合物半導體相關(GaAs Epi,GaN Epi,InP,Ga等)

          測量尺寸

          3-8英寸

          測量范圍

          厚度:200 –1200μm
          弓形:+/- 350μm
          翹曲:350μm

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